HORIBA堀場制作所 自動供液系統LU-A1000

HORIBA堀場制作所 自動供液系統LU-A1000

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LU 系列以不間斷、**和可靠的方式將液態化學品輸送至液體材料烘烤系統和注入系統。這增加了正常運行時間，減少了操作人員手動操作和制程污染的風險。

LU 系列提供自動執行殘余液體清洗程序的功能。

使用 LU 系列提高了供液能力和保養效率。

概要

• 蒸汽壓力監視功能作為標準配置，可在更換母罐期間檢查吹掃效率

• 可選配稱重傳感器，監視母罐中殘余液體總量

• LU-A1000 系列設計緊湊，采用集成氣體系統，與傳統配件相比，可顯著減小尺寸

• 日常維護時輕松更換部件

• 脫氣器模塊為標準配置，可降低液體鼓泡風險，適用于各種汽化系統，包括注入和烘烤應用

• **標準：SEMI S2/S8/S14, CE 標志

• **改善：多樣化的監視設備提供全自動控制。LU-A1000 系列配備了自動緊急關機功能，一旦系統出現故障，該功能將被啟動

• 可操作性改進：操作步驟全自動化，防止操作失誤。操作也可以通過設備前端的觸控面板來控制