容器組件
日本KASHIYAMA柏山真空泵SDL系列
- 產品名稱：日本KASHIYAMA柏山真空泵SDL系列
- 產品型號：SDL20E50
- 產品廠商：日本KASHIYAMA柏山真空泵
- 產品文檔：
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簡單介紹
日本KASHIYAMA柏山真空泵SDL系列
KASHIYAMA真空泵SDL Series系列
可用于大尺寸晶圓和FPD。
通過組合提供大容量。
大于150kl/min也可按需提供。
更短的周期時間。
大容量atm左右，可實現高壓泵送。
適用于大型L/L箱。
溶劑抽空泵也排好了。
SDL12E50/SDL20E50/SDL36E60/SDL3600
日本KASHIYAMA柏山真空泵SDL系列
的詳細介紹
日本KASHIYAMA柏山真空泵SDL系列
SDL12E50/SDL20E50/SDL36E60/SDL3600
*1. N2未使用**時的值。
*排氣性能曲線可能會根據組合而變化。
*排氣性能曲線可能會根據組合而變化。
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