HORIBA堀場制作所 電容壓力計VG-200

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VG 系列電容式壓力計尺寸緊湊，采用全金屬設計，可選配自動溫度調節功能。

概要

• 緊湊型自加熱設計

• 電極結構帶來高性能和高穩定性

• 鎳合金隔膜具有良好的耐腐蝕性

• 設定點輸出（2 點）

• 警報輸出

• 通過專用軟件調整量程

• 一鍵歸零

• 電源要求 +/-15V 直流電或 24V 直流電

• 符合 CE 認證標準和 RoHS 標準

技術論文

電容薄膜真空計研發  (1.3MB)

摘要
"在用于制造發光二極管、半導體、平板顯示器和太陽能電池的沉積制程或蝕刻制程中使用了各種氣體，而制程壓力對產品質量影響巨大，因此需要具備良好耐腐蝕性、無氣體依賴性和高精度的真空計。為滿足這些要求，HORIBA STEC 研發了電容薄膜真空計“VG-200 系列”，性能評估結果顯示其具備出色的重現性和長期穩定性。本文將描述下 VG-200 系列產品的特性和性能評估結果。"