HORIBA堀場制作所 緊湊型工藝氣體監測儀MICROPOLE

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HORIBA堀場制作所 緊湊型工藝氣體監測儀MICROPOLE

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• 輕型緊湊尺寸
  尺寸僅為傳統殘余氣體分析儀的 1/20，易于集成到任何系統中

• 高性能
  9 個四極桿的微型陣列體積僅為傳統四極桿體積的一小部分，可提供出色的靈敏度

• 高壓操作
  可在高達 0.9Pa（7mTorr，9×10-3mbar）的壓力下使用，從而減少或消除了許多應用中昂貴的真空泵

• 校準中可互換的傳感頭
  傳感頭在裝運前經過預調和預校準，允許用戶在現場進行傳感器更改，而無需微調或使用專業技術

• 網絡傳感器
  使用 RS-485 可讓一臺電腦監控高達 8 個傳感器。這些系統也可以通過以太網進行遠程監控

• 用戶友好軟件
  Micropole Scanner? 軟件允許用戶以各種模式監測氣體分壓，例如趨勢圖、模擬圖、泄漏模式、條形圖、3D 圖等

• 監測儀控制器
  選配的監測儀控制器可用于直接安裝在光譜發生器上的真空室，用戶無需電腦即可監控真空室

測量原理

體監測儀由離子源、質譜儀和測量部分組成。當殘余氣體與高溫燈絲釋放的熱電子碰撞時，殘余氣體被電離，由此產生的離子加速并匯聚到質譜儀上。在質譜儀中，直流和交流電壓被施加到四個圓柱形電極（四極桿）上，通過質量來分離離子。分離的離子被法拉第杯檢測為電流。離子電流與殘余氣體的質量（分壓）成正比。

MICROPOLETM 分析儀

MICROPOLETM 系統的特點之處就在于其采用 MICROPOLETM 分析儀（MPA）；九個四極桿的陣列充分利用超精密光學蝕刻加工技術和玻璃/金屬接合技術。MPA 的研發成功制造了殘余氣體分析儀，同時提供與傳統大型質譜儀相同或更好的靈敏度。該分析儀是一個插件。它配有一個已針對分壓進行校準的傳感器單元，并提供總壓和分壓測量。